潔凈室的氣流流型及分類

潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間的氣流組織相比,有著明顯不同。所謂氣流流型就是對(duì)潔凈室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理的設(shè)計(jì)。潔凈室氣流流型的持點(diǎn)為:應(yīng)考慮避免或減少渦流,減少二次氣流,有利于迅速有效地排除污染物;應(yīng)盡量限制和減少室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌的擴(kuò)散,維持室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境所要求的空氣潔凈度等級(jí);兼顧維持室內(nèi)的溫、濕度及工作人員的舒適要求。

潔凈室的氣流流型主要分為三類:非單向流、單向流、混合流。單向流是指沿單一方向呈平行流線,并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流,曾經(jīng)被稱為“層流”等;非單向流是指不符合單向流定義的氣流,曾經(jīng)被稱為“亂流”等;混合流是由單向流和非單向流組合的氣流。

潔凈室是指

對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對(duì)環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò)，在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

潔凈室的分類

1、按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分

根據(jù)氣流的流動(dòng)狀態(tài)分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室：

（2） 單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行，以單一方向流動(dòng)，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

（3） 矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形過(guò)濾器，也可以用普通過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。

無(wú)塵車間施工要求：裝有過(guò)濾器的房間，不能有粉塵的作業(yè)。各個(gè)相接處的縫隙須密封。施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明。無(wú)塵車間施工要求：縫隙應(yīng)在正面密封。自流平地面處理，厚度2mm。作業(yè)中的發(fā)塵量須隨時(shí)清掃。保護(hù)好作業(yè)面，避免造成板材缺陷。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)無(wú)塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn) 根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素，分為若干等級(jí)。