凈化工程是空氣潔凈技術(shù)創(chuàng)造潔凈微環(huán)境的重要、具代表性的措施，潔凈室原理是設(shè)計(jì)、運(yùn)行和維護(hù)好潔凈室的理論基礎(chǔ)。溫度和相對(duì)濕度主要影響產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及xi菌的繁殖條件，還能引發(fā)由生產(chǎn)操作人員舒適度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。指在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、xi菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。

升旭凈化工程公司所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。

凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境不僅關(guān)系到從業(yè)人員生產(chǎn)活動(dòng)中的健康和舒適性，而且關(guān)系到生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量，乃至生產(chǎn)過(guò)程能否進(jìn)行的重要問(wèn)題。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。

凈化潔凈工程

送風(fēng)量、換氣次數(shù)

器械凈化工程-無(wú)菌潔凈室工程設(shè)計(jì)階段對(duì)送風(fēng)量的確定，首先要滿足相應(yīng)潔凈度級(jí)別的換氣次數(shù)要求，同時(shí)還要通過(guò)熱、濕負(fù)荷校核來(lái)進(jìn)一步確定風(fēng)量，在此基礎(chǔ)上對(duì)gao效過(guò)濾器進(jìn)行選用。凈化工程風(fēng)量、換氣次數(shù)、靜壓差在潔凈室體積確定的情況下，換氣次數(shù)由該室的送風(fēng)量決定，而靜壓差取決于房間的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量的差值。過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量，設(shè)置在同一潔凈區(qū)內(nèi)的gao效 ( 亞gao效、超gao效 ) 空氣過(guò)濾器的阻力、效率宜接近。

通常潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取以下 3 項(xiàng)中的大值 ：為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量 ；設(shè)備的自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀表要集中控制，閥門控制盡量集中，便于工人操作。根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量 ；向潔凈室nei供給的新鮮空氣量。而新鮮空氣量應(yīng)取下列 2 項(xiàng)中的大值 ：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和 ；保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于 40m3。