派瑞林Parylene涂層不僅電性能和防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物材料VI類標準，被列為是一種可以在體內(nèi)長期植入使用的生物材料。

有些具有需小心保護的內(nèi)部電子元件（植入式或外部），由于這些電子元件體積微小，沒有足夠的重量進行沉降、噴涂或涂刷，一些微小的裝置還會受到氣隙、厚度不均等因素的不良影響，因此無法采用傳統(tǒng)的防護涂層。

Parylene真空鍍膜以其良好的耐腐蝕、耐，、 低阻滯性、低摩擦系數(shù)及生物相容性，在國際臨床運用的生物的表面涂層上，將逐步取代TiNi（鎳鈦）合金涂層而被列為*材料。如骨釘、探針、針頭、臨時手術(shù)器械、導尿管、制動器及耳蝸植入器，心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子。

根據(jù)Arrhenius外推法的數(shù)據(jù)，ParyleneC預計可以暴露在持續(xù)100℃的空氣下10年（100，000小時）。在無氧的氣體環(huán)境或者在真空狀況下，Parylene估計可以暴露在220℃的溫度下持續(xù)雷同的時間。在所有的情況下，高溫降低使用壽命。假如應用的環(huán)境要求接近或者超過了這個時間——溫度——空氣環(huán)境，建議用更接近現(xiàn)實使用環(huán)境的條件進行悉數(shù)的測試。

Parylene可以經(jīng)過韌化來進步擊穿阻抗，進步硬度及改動摩擦阻抗。這是密度和結(jié)晶度進步的效果。

真空鍍膜是真空應用領(lǐng)域的一個重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。

Parylene是獨特的聚對二甲苯(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名稱，是一種分子級敷型涂層材料，根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同，可分為Parylene N、C、D、HT、F型等多種類型。

cvd化學氣相沉積