質量流量控制器概述

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熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號放大去驅動控制調節(jié)閥門。通過實時的流量檢測閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

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質量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）