背壓法氦質譜檢漏

采用背壓法檢漏時，首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中，使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。

背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。

背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏標準主要有QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》，主要應用于各種電子元器件產品檢漏。

氦氣檢漏的原理

大家都知道氣分子內部結構穩(wěn)定，化學性質并不活潑并且密度較小，由于這些特性氦氣不會，也不容易和其他物質發(fā)生反應。因為這些性質，所以氦氣經常被用來檢漏。

其實任何可以感測氣體分壓之質譜儀，均可以作為真空系統(tǒng)漏氣之偵測,通常為分子量較輕的氣體，氦氣滲透漏孔， 的質譜測漏儀，多將質普分析器固定在特定質量，通常為氦氣的質量，以氦氣為漏氣體在欲偵測處到處噴氦氣，觀察質普是否改變，來辦別是否有漏氣，這是氦氣檢漏的原理。氦氣檢漏的原理大家都知道氣分子內部結構穩(wěn)定，化學性質并不活潑并且密度較小，由于這些特性氦氣不會，也不容易和其他物質發(fā)生反應。

氦檢漏步驟

1、抽真空至5Pa以下就可以開始檢測。

2、插上檢漏儀電源,關閉上部手動擋板閥,開啟檢漏儀總電源，此時，“放氣”燈亮起，等待系統(tǒng)運行

3、當”系統(tǒng)正?！奔芭赃叺膬蓚€燈都顯示為綠色時,觀察預置參數(shù),應為10-15,一般取15，觀察數(shù)值，應為10的-8至-9次方時，可以開始檢漏(等待幾分鐘)

4、按'檢漏”鍵，緩慢開啟頂部手動擋板閥，注意:檢漏口的壓強不得超過10MPa,否則機器易損壞,

5、 數(shù)值穩(wěn)定后,先記錄下來，這就是. '本底”

6、逐個將氦氣充入焊縫，并封堵插入口，將數(shù)值變動記錄下來。全部完成充氦后再觀察20分鐘，看數(shù)值有無大的變動。

7、關機時，應先關閉上部手動擋板閥,然后開啟放氣鍵，后關電源。