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發(fā)布時間:2021-01-21 21:34  
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蝕刻曝光就是通過曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學溶液,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學顯影劑溶解,將可見的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見的顯影方法是旋轉、噴霧、浸潤,然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。
否則產(chǎn)品圖案就會出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象,從而產(chǎn)生不良品,而菲林也要定期檢查,不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象,否則也會出現(xiàn)不良品。來料檢驗當接到客戶需要加工的工件時,首先我們要經(jīng)過檢查,也就是我們目前IQC工序所要做的工作,把接到客戶的加工工件抹干凈,然后進行仔細檢驗,把來料中存在的不良品剔除出來,保證投入的產(chǎn)品是良品。你不來看看嗎?
應該采用通用規(guī)則來對信號進行自動布線。通過設置限制條件和禁止布線區(qū)來限定給定信號所使用的層以及所用到的過孔數(shù)量,布線工具就能按照工程師的設計思想來自動布線。如果對自動布線工具所用的層和所布過孔的數(shù)量不加限制,自動布線時將會使用到每一層,而且將會產(chǎn)生很多過孔。在設置好約束條件和應用所創(chuàng)建的規(guī)則后,自動布線將會達到與預期相近的結果,當然可能還需要進行一些整理工作,同時還需要確保其它信號和網(wǎng)絡布線的空間。在一部分設計完成以后,將其固定下來,以防止受到后邊布線過程的影響。