針對真空泵腐蝕的修復方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

愛發(fā)科VDN401油旋片真空泵維修操作須知：

（1）真空泵在長時間運轉中產生高溫（40度-80度）。因此操作或剛停止運行后，在電機和泵體冷卻到正常溫度以前，不能觸摸表面.

（2）工作時發(fā)生緊急情況，立即關閉總電源后保修解決

（3）設備若異常應立即停止運行，禁止強灌，持續(xù)帶病工作

（4）非維修人員嚴禁拆卸真空泵零部件

（5）維護保養(yǎng)設備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點，防止雜物進入泵內。