化學氣相沉積的應用

現(xiàn)代科學和技術需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地摻入某種雜質形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產品。因此，無機新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學中的主要課題。已經(jīng)開發(fā)出許多終點檢測技術，終點檢測設備就是為實現(xiàn)刻蝕過程的實時監(jiān)控而設計的。

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化學氣相沉積的原理

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化學氣相沉積技術是應用氣態(tài)物質在固體上產生化學反應和傳輸反應等并產生固態(tài)沉積物的一種工藝，它大致包含三步：

（1）形成揮發(fā)性物質 ；

（2）把上述物質轉移至沉積區(qū)域 ；

（3）在固體上產生化學反應并產生固態(tài)物質 ?；镜幕瘜W氣相沉積反應包括熱分解反應、化學合成反應以及化學傳輸反應等集中。