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發(fā)布時間:2020-12-13 07:41  

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普發(fā)Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵維修,Pfeiffer Splitflow 310-3P德國普發(fā)分子泵是用在氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備上,Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可達到250 L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,德國普發(fā)Splitflow 310-3P分子泵對應(yīng)的控制器為: Pfeiffer TC400。主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 SplitFlow,分流式渦輪分子泵,抽速高達 53 l/s 和在中間抽吸裝置上抽速0.15 l/s(N2),可取代多款渦輪分子泵,單獨機械和真空結(jié)構(gòu)設(shè)計,特別適合分析研發(fā)行業(yè)。

Pfeiffer普發(fā)渦輪分子泵SplitFlow優(yōu)點:

防護類型 IP 54 適合于工業(yè)用途

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

緊湊設(shè)計,占地空間小

對所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮比

運行數(shù)據(jù)監(jiān)控保證分子泵運行安全性

集成分子泵控制器


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半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強測量

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一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍

優(yōu)點

極寬的測量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)

很好的重復(fù)性,壓強范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲

可選圖形顯示和現(xiàn)場總線接口

自動高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

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