烘箱結(jié)構(gòu)特點

概述

烘箱，采用國家重點推廣的節(jié)能環(huán)保加熱新技術(shù)，通過電源使電熱管加熱，產(chǎn)生熱源，當(dāng)它被加熱物體吸收時可直接轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮埽瑥亩@得快速干燥效果，達到縮短生產(chǎn)周期，節(jié)約能源，提高產(chǎn)品質(zhì)量等目的。

結(jié)構(gòu)

烘箱箱體由角鋼、薄鋼板制成。外殼與工作室間填充玻璃纖維保溫與隔熱。加熱系統(tǒng)裝置在工作室的頂部。水平式循環(huán)通風(fēng)，使之箱內(nèi)的溫度更加均勻，本型烘干箱能有效的避免工作室內(nèi)存在的梯度溫差及溫度過沖現(xiàn)象，且能提高工作室內(nèi)的溫度均勻性。

溫度控制

采用智能程序溫控儀控溫，PID參數(shù)自整定，固態(tài)繼電器調(diào)功率，無觸點連續(xù)調(diào)節(jié)，自動完成烘干全過程，能滿足任何固化曲線的要求，操作簡便，。烤箱分為低溫（0-250度)、中溫250-600度)、高溫(600-1500度）超過1200度公司建議采用碳硅棒加熱，完全可以根據(jù)產(chǎn)品的工藝要求選擇。配用熱敏元件探頭組成自動恒溫控制?？販鼐褥`敏，室溫~300℃任意選擇設(shè)定。工作室內(nèi)溫度可以從儀表直接讀出。恒溫時間可達99.99H

使用烘箱時應(yīng)該注意什么？

當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。當(dāng)溫度達到所控溫度時，紅燈熄滅綠燈亮，開始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

放入試品時應(yīng)注意排列不能太密。散熱板上不應(yīng)放試品，以免影響熱氣流向上l流動。禁止烘焙容易著火、易曝、易揮發(fā)及有腐蝕性的物品。

當(dāng)需要觀察工作室內(nèi)樣品情況時，可開啟外道箱門，透過玻璃門觀察。但箱門以盡量少開為好，以免影響恒溫。特別是當(dāng)工作在200℃以上時，開啟箱門有可能使玻璃門驟冷而破l裂。

有鼓風(fēng)的烘箱，在加熱和恒溫的過程中必須將鼓風(fēng)機開啟，否則影響工作室溫度的均勻性和損壞加熱元件。

工作完畢后應(yīng)及時切斷電源，確保安全。

烘箱內(nèi)外要保持干凈。

使用時，溫度不要超過烘箱的較高使用溫度。

為防止?fàn)Cl傷，取放試品時要用專門工具。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)l藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。使用如感到熱慣稍大時，可關(guān)閉一組加熱器以降低發(fā)熱功率，防止慣性過大造成超溫。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。