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六甲基二硅氮烷，無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應(yīng)，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應(yīng)，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。

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六甲基二硅烷[(CH3)3SiSi(CH3)3]，縮寫HMDS，主要用做，用于制備三甲基硅基陰離子、三硅烷和三甲基硅基堿金屬鹽及合成中基團(tuán)的保護(hù)劑。此外，由于富含Si、C元素，在光電子行業(yè)和陶瓷行業(yè)也有一定的應(yīng)用。

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用三甲氯硅烷在30-40℃水解來制備六甲基二硅氧烷，但水解不徹底，收率不高，容易造成原料浪費(fèi)。用三甲氯硅烷在30-40℃水解來制備六甲基二硅氧烷，但水解不徹底，收率不高，容易造成原料浪費(fèi)。

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