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發(fā)布時(shí)間:2021-09-27 07:07  
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加工精度達(dá)到 1微米的機(jī)械加工方法。精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下,使用精密機(jī)床和精密量具和量?jī)x來(lái)實(shí)現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過(guò) 0.1微米稱超精密機(jī)械加工。
精密機(jī)械加工的工藝效果是:
①零件的幾何形狀和相互位置精度達(dá)到微米或角秒級(jí);
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能滿足配合力的要求;
⑤部分零件還能滿足準(zhǔn)確的力學(xué)或其他物理特性要求。

日本通產(chǎn)省1991年開(kāi)始啟動(dòng)一項(xiàng)為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計(jì)劃,研制兩臺(tái)樣機(jī)、進(jìn)入人體進(jìn)行診斷和微型手術(shù),另一臺(tái)用于工業(yè),對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)和原子能設(shè)備的微小裂紋實(shí)施維修。該計(jì)劃有筑波大學(xué)、東京工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)、早稻田大學(xué)和富士通研究所等幾十家單位參加。
歐洲工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家也相繼對(duì)微型系統(tǒng)的研究開(kāi)發(fā)進(jìn)行了重點(diǎn)投資,德國(guó)自1988年開(kāi)始微加工十年計(jì)劃項(xiàng)目,其科技部于1990~1993年撥款4萬(wàn)馬克支持'微系統(tǒng)計(jì)劃'研究,并把微系統(tǒng)列為本世紀(jì)初科技發(fā)展的重點(diǎn),德國(guó)首創(chuàng)的LIGA工藝,為MEMS的發(fā)展提供了新的技術(shù)手段,并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國(guó)1993年啟動(dòng)的7000萬(wàn)法郎的'微系統(tǒng)與技術(shù)'項(xiàng)目。歐共體組成'多功能微系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò)NEXUS',聯(lián)合協(xié)調(diào)46個(gè)研究所的研究。瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精密機(jī)械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了MEMS的開(kāi)發(fā)工作,1992年投資為1000萬(wàn)美元。英國(guó)政府也制訂了納米科學(xué)計(jì)劃。在機(jī)械、光學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域列出8個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行研究與開(kāi)發(fā)。為了加強(qiáng)歐洲開(kāi)發(fā)MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開(kāi)發(fā)集團(tuán)。


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