退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

5、爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。6、溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。箱式退火爐用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規(guī)熱處理之用的設(shè)備。特點(diǎn)：智能數(shù)顯表PID1、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用，節(jié)能達(dá)30%，爐溫均勻，智能數(shù)顯表PID（如圖《智能數(shù)顯表PID》所示)自動(dòng)控制爐溫，精密高；2、電爐裝御料方便，操作條件好；3、爐門與爐體的密封為自動(dòng)密封，無(wú)需人工密封；4、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故

物料的干燥速率取決于表面汽化速率和內(nèi)部濕分的擴(kuò)散速率。通常干燥前期的干燥速率受表面汽化速率控制；而后，只要干燥的外部條件不變，物料的干燥速率和表面溫度即保持穩(wěn)定，這個(gè)階段稱為恒速干燥階段；當(dāng)物料濕含量降低到某一程度，內(nèi)部濕分向表面的擴(kuò)散速率降低，并小于表面汽化速率時(shí)，干燥速率即主要由內(nèi)部擴(kuò)散速率決定，并隨濕含量的降低而不斷降低，這個(gè)階段稱為降速干燥階段。

熱風(fēng)隧道烘箱是在吸收各國(guó)先進(jìn)干燥滅菌技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種滅菌設(shè)備。已在國(guó)內(nèi)各生產(chǎn)領(lǐng)域使用，適合各種物料的干燥要求，競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)，對(duì)生產(chǎn)加工效率的提高有很大幫助。當(dāng)我們使用這種設(shè)備時(shí)，了解相關(guān)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、工作原理和注意事項(xiàng)是非常重要的，這可以幫助我們更好地使用設(shè)備。

熱風(fēng)隧道烘箱的結(jié)構(gòu)：

熱風(fēng)隧道烘箱是一種連續(xù)干燥設(shè)備，可以連續(xù)烘烤，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。兩側(cè)均配有鏈傳動(dòng)，解決運(yùn)輸過(guò)程中的跑偏現(xiàn)象?？鞠涫欠侄渭訜岬?，由獨(dú)立的電箱控制，操作簡(jiǎn)單。結(jié)構(gòu)主要由輸送系統(tǒng)和干燥爐組成。多級(jí)獨(dú)立PID溫度控制，爐內(nèi)溫度均勻。輸送速度采用變頻調(diào)速，可自由調(diào)節(jié)，運(yùn)行平穩(wěn)，生產(chǎn)。