氣體管道安裝工程要求:

(一)工作壓力大于或者等于0.1MPa(表壓,下同)的;

(二)公稱直徑大于25mm的;注1:公稱直徑即公稱通徑、公稱尺寸,代號(hào)一般用DN表示?！秹毫艿涝圃煸S可規(guī)則》:本規(guī)則所稱公稱直徑根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),依據(jù)不同的管材、管件,可以指公稱外徑、公稱內(nèi)徑、通徑和口徑、公稱尺寸。

(三)輸送介質(zhì)為氣體、蒸汽、液化氣體、工作溫度高于或者等于其標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)的液體或者可燃、易i爆、有毒、有腐蝕性的液體的。根據(jù)原勞動(dòng)部《壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定》和質(zhì)檢總局《壓力容器壓力管道設(shè)計(jì)許可規(guī)則》TSGR1001-2008的定義,工業(yè)管道是指企業(yè)、事業(yè)單位所屬的用于輸送工藝介質(zhì)的工藝管道、公用工程管道及其他輔助管道。蒸汽或其他含水的氣體管道在最i低點(diǎn)設(shè)置排水管或疏水閥，某些氣體管道還設(shè)有氣水分離器，以便及時(shí)排去水液，防止管內(nèi)產(chǎn)生水擊和阻礙氣體流動(dòng)。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應(yīng)：系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換，保證氣體連續(xù)供應(yīng)

3、低壓警示：當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí)，報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警

4、氣體壓力穩(wěn)定：系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率：通過(guò)供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本

6、操作簡(jiǎn)便：所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運(yùn)安裝的操作，節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用

7、無(wú)氣瓶在實(shí)驗(yàn)室：可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。3、根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量，計(jì)算供氣壓力，流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則不低于9。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端氣體過(guò)濾器。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)

　?。?）通過(guò)氣瓶和輸送管道將載氣輸送給儀器，在氣瓶出口裝有單向閥，可避免更換氣瓶時(shí)有空氣和水分混入，另外在一端安裝泄壓開(kāi)關(guān)球閥，將多余的空氣和水分排放后再接入儀器管道，保證儀器用氣的純度。

　　（2）集中供氣系統(tǒng)采用二級(jí)減壓保證壓力的穩(wěn)定，采用二級(jí)減壓的方式，一是，經(jīng)過(guò)第i一級(jí)減壓后，干路壓力比氣瓶壓力大大降低，起到了緩沖管道壓力的作用，提高了用氣的安全，降低了應(yīng)用的風(fēng)險(xiǎn)，二是保證儀器供氣入口壓力的穩(wěn)定，降低了因?yàn)闅怏w壓力波動(dòng)而引起的測(cè)量誤差，保證了儀器使用的穩(wěn)定性。（4）氣瓶室應(yīng)有通風(fēng)設(shè)備，保持陰涼，氣瓶室頂部應(yīng)該留有泄流孔防止易i燃?xì)怏w的聚集。

　?。?）由于實(shí)驗(yàn)室有些儀器需要使用易i燃?xì)怏w，如甲i烷，乙i炔，氫氣，做這易i燃?xì)怏w的管路時(shí)，應(yīng)注意管路盡量短，減少中間接頭的連接，同時(shí)，氣瓶一定裝入防爆氣瓶柜內(nèi)，氣瓶輸出端接回火器，可阻止火焰回流氣瓶引起的爆i炸，防爆氣瓶柜頂端應(yīng)有連接到室外的通風(fēng)排氣口，且有泄漏報(bào)警裝置，一旦泄漏能及時(shí)報(bào)警并將氣體排到室外。第i一，你所設(shè)工程的基本信息要盡量齊全，例如，儀器的擺放位置，儀器所要用到的氣體，儀器所用的氣體壓力，流量方面的要求，所用儀器的進(jìn)氣口的配置情況，鏈接儀器的管線為多大。