氦質譜檢漏儀的應用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。

氦質譜檢漏儀的結構

質譜室，形象的說，質譜室是氦質譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質譜室之內。質譜室殼由非磁性材料制成，內部抽空，而外部設置成磁鐵形成磁分析器的磁場。氦質譜檢漏儀是由質譜室、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)組成，有時還需要配置輔助的真空系統(tǒng)。

氦質譜檢漏儀的原理

正常運行時，空氣經過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點處噴氦氣，由于氦質譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質譜檢漏儀，由于氦分子質量與其他分子質量不一樣，通過磁場產生的偏轉磁力不一樣，氦質譜檢漏儀上設計有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對大小。