真空泵冷卻水流不夠。應(yīng)加大冷卻水流量。

裝配不當(dāng)，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應(yīng)拆開(kāi)檢查并重新裝配。

因加工不良或磨損造成配合間隙過(guò)大。應(yīng)檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進(jìn)行修復(fù)或更換。

真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱，溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應(yīng)通冷卻水或用電風(fēng)扇降溫，同時(shí)，檢查有關(guān)部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進(jìn)行修理或更換。

光照法。在天氣晴朗的日子，用工具將潤(rùn)滑油撩起，與水平面成45°角。對(duì)照陽(yáng)光，觀察油滴情況，在光照下，可清晰地看到真空泵油潤(rùn)滑油中無(wú)磨削為良好，可繼續(xù)作用，若磨削過(guò)多，應(yīng)更換潤(rùn)滑油。油滴痕跡法。取一張干凈的白色慮試紙，滴油數(shù)滴在濾試紙上，待潤(rùn)滑油滲漏后，若表面有黑色粉末，用手觸摸有阻塞感，則說(shuō)明潤(rùn)滑油里面雜質(zhì)已很多，好的潤(rùn)滑油無(wú)粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黃色痕跡。

真空泵油的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

4)在化學(xué)工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶液造成污染，適合用干式真空泵；

5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。