常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組

潔凈室的冷熱源機(jī)組： 桿式冷水機(jī)組 螺桿式冷水機(jī)組是由螺桿式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個(gè)完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機(jī)組 離心式冷水機(jī)組是由離心式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機(jī)組。離心式冷水機(jī)組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機(jī)容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機(jī)組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國(guó)外已大量建成0.1微米級(jí)的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場(chǎng)建成十級(jí)潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個(gè)1000平方米控制0.1微米塵埃的千級(jí)廠房，換氣次數(shù)高達(dá)300次/分。美國(guó)在臺(tái)灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。

九十年代初至今,是國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)與國(guó)際全國(guó)接軌,走向規(guī)范化的時(shí)

潔凈技術(shù)在中國(guó)的發(fā)展 在中國(guó)，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的空氣過(guò)濾器通過(guò)鑒定，標(biāo)志了我國(guó)潔凈技術(shù)開(kāi)始正式起步。同時(shí)，一此電子技術(shù)、精密機(jī)械和工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)。1965年建成的沈陽(yáng)119廠和石家莊13所就是由三機(jī)部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院）和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院（現(xiàn)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級(jí)設(shè)計(jì)建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國(guó)的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽(yáng)光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段，如標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國(guó)際交往方面；生物潔凈室在方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開(kāi)發(fā)方面達(dá)到八十年代國(guó)外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)與國(guó)際全國(guó)接軌，走向規(guī)范化的時(shí)代。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，國(guó)際投資持續(xù)注入，一批跨國(guó)集團(tuán)在中國(guó)陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠因此國(guó)內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機(jī)會(huì)直接接觸國(guó)外別潔凈室的設(shè)計(jì)理念，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置、管理與維護(hù)等等。從這方面來(lái)看，的確從各個(gè)角度與國(guó)際日益接軌。

我國(guó)使用的0

我國(guó)使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴(lài)從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

抓住關(guān)鍵,加強(qiáng)工程審計(jì)環(huán)節(jié)的控制

抓住關(guān)鍵，加強(qiáng)工程審計(jì)環(huán)節(jié)的控制凈化工程項(xiàng)目的審計(jì)必須對(duì)工程項(xiàng)目整個(gè)施工生產(chǎn)活動(dòng)的全過(guò)程進(jìn)行審計(jì),工程項(xiàng)目的審計(jì)不僅要重視被審項(xiàng)目的事后審計(jì)及竣工審計(jì)，更要重視事前和事中審計(jì)，事前審計(jì)，可使凈化工程項(xiàng)目施工方案的編制更趨合理，并能幫助工程項(xiàng)目管理班子提前“把關(guān)”，有效地防止或避免可以預(yù)見(jiàn)的失誤。事中審計(jì)，即對(duì)施工階段中若干個(gè)過(guò)程所作的審計(jì)，對(duì)于后階段來(lái)講，則為面向未來(lái)，又屬事前審計(jì)，不過(guò)這種事前審計(jì)更有針對(duì)性、效益性，做好了，能達(dá)到事半功倍的效果。