單工位噴淋清洗機(jī)

屬于清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有的噴淋清洗機(jī)工作效率低的問(wèn)題而設(shè)計(jì)。本實(shí)用新型提供的單工位噴淋清洗機(jī)包括底座、位于所述底座上方的上料箱、設(shè)于所述上料箱一側(cè)的噴淋清洗裝置和儲(chǔ)液槽、用于夾緊待清洗的罐體的機(jī)械手、用于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手的驅(qū)動(dòng)裝置以及控制系統(tǒng)，其中，所述儲(chǔ)液槽內(nèi)設(shè)有撇油機(jī)構(gòu)，頂部安裝有重力油水分離裝置，側(cè)壁可活動(dòng)的連接有集油盒。本實(shí)用新型的單工位噴淋清洗機(jī)工作、操作和維修方便。

往復(fù)式零件清洗機(jī)是一種以射流的沖擊力為主，化學(xué)力和熱力為輔。本機(jī)能廣泛應(yīng)用于機(jī)械、輕紡、礦山、油田、冶金、交通、港口、鐵道、修理、等各條行業(yè)，特別適用于：1.各機(jī)械產(chǎn)品廠清洗機(jī)加工后（涂裝前）的大、中、小零件。2.各單位用來(lái)維護(hù)保養(yǎng)機(jī)械設(shè)備，如多種機(jī)床、設(shè)備、工程機(jī)械大修或起封前進(jìn)行零部件清洗。3.各維修廠如：修船廠、汽修廠、農(nóng)機(jī)修理廠維修前的清洗，特別是該機(jī)工人臺(tái)尺寸大，特別適用于中型汽車發(fā)動(dòng)機(jī)及重型汽車的汽的氣缸、活塞的清洗。在加工清洗的玻璃發(fā)生偏移，這樣的情況就是壓輥兩頭受力不夠均勻了；解決的方式就是及時(shí)的調(diào)整壓輥平衡。在加工中玻璃出現(xiàn)破碎的現(xiàn)象，這個(gè)時(shí)候就要注意了一定要及時(shí)修正后再使用，一般發(fā)生的原因是毛刷的軸承破壞了，還有壓輥壓不住玻璃，需要及時(shí)調(diào)整和更換。清洗后的玻璃還是不干凈，那么就可能是噴水管壞了或者是堵了，毛刷的間距太大也會(huì)洗不干凈。要及時(shí)清理和調(diào)整間距。

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn)，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。