24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

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    無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無塵室等級(jí)來建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)很重要的企業(yè)。

對(duì)無塵室C/R而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須準(zhǔn)確。

在設(shè)計(jì)電子潔凈室的同時(shí)，要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局，所有建筑物都必須具有適當(dāng)?shù)撵`活性，整個(gè)區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應(yīng)采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計(jì)中，必須通過攻擊來控制整個(gè)房間的高度。即使如此，它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計(jì)電子清潔廠房時(shí)，應(yīng)根據(jù)整個(gè)廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進(jìn)行設(shè)置，或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。