?、堑蜏氐入x子滅菌此方式是在風(fēng)道內(nèi)加裝低溫等離子模塊，該技術(shù)的關(guān)鍵是通過(guò)高壓脈沖介質(zhì)阻擋放電的形式產(chǎn)生大量等離子體，將氣體激1活，產(chǎn)生各種活性自由基，對(duì)甲醛、二甲1ben等有毒有害氣體發(fā)生降解、氧化等復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)，且副產(chǎn)品無(wú)1毒，避免二次污染，并可對(duì)各種污染氣體進(jìn)行同時(shí)治理。而老、幼、病、殘等弱勢(shì)群體、機(jī)體抵抗力較低、戶外活動(dòng)機(jī)會(huì)更少，因此，室內(nèi)空氣質(zhì)量的好壞與人們的關(guān)系尤為重要。低溫等離子模塊的功效主要在于除塵、滅菌、祛除異味、降解有機(jī)廢氣、釋放負(fù)離子等，利用低溫等離子體降解有機(jī)廢氣、祛除異味、殺滅細(xì)1菌、病毒、凈化空氣是國(guó)際上比較的高新技術(shù)，國(guó)內(nèi)外稱之為21世紀(jì)環(huán)境科學(xué)四大技術(shù)之一。1

　?、茸贤鉄魵⒕米贤饩€殺菌的方式由來(lái)已久，1910年，紫外線shou次被Cernovedeow和Henvi運(yùn)用于飲用水消毒1殺菌。目前，紫外線已被廣泛應(yīng)用于飲用水、純水、電子、、空氣凈化消毒、環(huán)保污水處理等領(lǐng)域。紫外線殺菌原理是通過(guò)紫外線對(duì)微生物的照射，以改變及破壞微生物的組織結(jié)構(gòu)(DNA-核酸)，導(dǎo)致核算結(jié)構(gòu)突變，生物體喪失、繁殖能力，功能遭受破壞，凈化工程從而達(dá)到消毒、1殺菌的目的。這樣的新風(fēng)口位置，必然產(chǎn)生危及室內(nèi)潔凈度的結(jié)果，無(wú)論后期施工質(zhì)量如何，其潔凈室的工程質(zhì)量也很難達(dá)到要求，實(shí)際上這與“規(guī)范”中要求的新建潔凈手術(shù)室應(yīng)遠(yuǎn)離污染源的總體要求是相違背的。紫外線的波長(zhǎng)范圍為1360×10-10m~3900×10-10m。其中在波長(zhǎng)為2400×10-10m~2800×10-10m范圍具殺菌效能，即所謂的C波段紫外光。

　?、杉{米光觸媒凈化利用納米技術(shù)進(jìn)行殺菌凈化是近年來(lái)新發(fā)展起來(lái)的高科技手段，光觸媒[Photocatalyst]是光[Photo=Light] 觸媒(催化劑)[catalyst]的合成詞1970年初，F(xiàn)ujishima和Honda在TiO2單結(jié)晶電極在受到光的照射后做光氧化反應(yīng)和光還原反應(yīng)，水分解成氫和氧，之后此項(xiàng)研究繼續(xù)發(fā)展到今。2、設(shè)備采用直驅(qū)式高1效離心風(fēng)機(jī)，使用壽命長(zhǎng)，噪音小，震動(dòng)小，免于維護(hù)。(Nature報(bào)發(fā)表)各種應(yīng)用領(lǐng)域的快速發(fā)展，加快對(duì)此項(xiàng)研究進(jìn)程。

　　光觸媒是利用光源做催化反應(yīng)(化學(xué)反應(yīng)：氧化·還原反應(yīng)),促進(jìn)有機(jī)物分解的光半導(dǎo)體物質(zhì)，光觸媒吸收太陽(yáng)光和日光燈和可視光線所發(fā)出的紫外線，在光觸媒表面形成氧化能力極強(qiáng)的活性氫基(OHRadical)，它可以把細(xì)1菌和有機(jī)污染物分解并驅(qū)除，并且把有機(jī)污染物分解成無(wú)污染的水(H2O)和二氧化碳(CO2)，達(dá)到殺菌，除臭，空氣凈化的效果。目前常用的光觸媒是氧化能力極強(qiáng)的超微粒子化的二氧化鈦。但是，在潔凈工程的設(shè)計(jì)和實(shí)施中，有一些細(xì)節(jié)也需要下工夫做足文章，否則很可能“千里之堤，潰于蟻穴”，花費(fèi)巨大財(cái)力和精力建成的工程會(huì)因?yàn)橐粋€(gè)風(fēng)管的不合適或者人員的走動(dòng)而達(dá)不到預(yù)期效果，影響產(chǎn)品質(zhì)量。檢測(cè)中心對(duì)光觸媒的檢測(cè)結(jié)果表明光觸媒對(duì)常見(jiàn)的細(xì)1菌的殺菌效果在99%以上，近來(lái)，光觸媒被譽(yù)為未來(lái)產(chǎn)業(yè)之一的納米技術(shù)產(chǎn)品。此外，還有些場(chǎng)合使用噴灑消毒氣霧劑的方式來(lái)進(jìn)行空氣治理，但因此種方式有效時(shí)間短，濃度不易控制，易產(chǎn)生二次污染等原因，不宜推廣使用。

超凈工作臺(tái)應(yīng)用

4.2.1 根據(jù)環(huán)境的潔凈程度，可定期（一般2～3個(gè)月）將粗濾布（滌綸無(wú)紡布）拆下清洗或給予更換。

4.2.2 定期（一般為一周）對(duì)環(huán)境周?chē)M(jìn)行滅菌工作，同時(shí)經(jīng)常用紗布沾酒精或丙1酮等有1機(jī)1溶1劑將紫外線殺菌燈表面擦干凈，保持表面清潔，否則會(huì)影響殺菌效果。

4.2.3 當(dāng)加大風(fēng)機(jī)電壓已不能使風(fēng)速達(dá)到0.32m/s時(shí)必須更換高1效空氣過(guò)濾器。

4.2.4 更換過(guò)濾器時(shí)，可打開(kāi)頂蓋，更換時(shí)應(yīng)注意過(guò)濾器上的箭頭標(biāo)志，箭頭指向即為層流氣流向。

4.2.5 更換高1效過(guò)濾器后，應(yīng)用Y09-4型塵埃粒子計(jì)數(shù)器四周邊框密封是否良好，調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)電壓，使操作區(qū)平均風(fēng)速保持在0.32-0.48m/s范圍內(nèi)，再用Y09-4型塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢查潔凈度。

?潔凈室中的溫濕度控制

   濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。格柵控制調(diào)節(jié)方便，但格柵不易密閉，且調(diào)節(jié)幅度不大，同時(shí)也會(huì)對(duì)氣流方向產(chǎn)生影響。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)jia溫度范圍為35—45%。 

潔凈工程對(duì)人員進(jìn)出的潔凈要求規(guī)范

    對(duì)潔凈工程來(lái)講，人是容易攜帶污染物進(jìn)入潔凈室里面的，所以工作人員在進(jìn)入潔凈室時(shí)，應(yīng)充分做好準(zhǔn)備，任何可能攜帶污染的物體都不能帶進(jìn)去。

1、飾品：工作人員在進(jìn)入房間前1摘掉手上所帶的戒指，同如果一定要戴戒指，就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來(lái)。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項(xiàng)鏈、胸針和其他凸出來(lái)的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，也1好不要佩戴這些飾物。4、員工進(jìn)入潔凈室數(shù)目以維持小限度為原則（愈小愈好），并須依潔凈室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出潔凈室。因?yàn)檫@些東西可能會(huì)干擾潔凈室或者實(shí)驗(yàn)室的正?；顒?dòng)。

2、個(gè)人物品：例如香1煙、錢(qián)包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲(chǔ)物柜里，不能把它們帶進(jìn)潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。在進(jìn)入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護(hù)目鏡上所有看得見(jiàn)的微粒污染物擦掉。

3、干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會(huì)污染產(chǎn)品。一次性鞋套1好每天更換一到兩次。大多數(shù)更衣室都有干凈的一邊和污染的一邊，潔凈室人員應(yīng)該始終按規(guī)定執(zhí)行。不能穿著鞋套走出更衣室，又穿著同一雙鞋套走進(jìn)來(lái)。

4、頭發(fā)，包括劉海，在進(jìn)入前都必須完全藏在帽子里，不能露出來(lái)。只能在潔凈室或者更衣室外面把帽子摘掉，也不能在潔凈室里脫帽子。在潔凈室或者更衣室外面戴過(guò)的帽子也不能再次使用了。