電容式加速度傳感器又稱變電容式加速度傳感器，它的結(jié)構(gòu)原理如下圖所示，一個質(zhì)量塊固定在彈性梁的中間，質(zhì)量塊的上端面是一個活動電極，它與上固定電極組成一個電容器C1；質(zhì)量塊的下端面也是一個活動電極，它與下固定電極組成另一個電容器C2。

當(dāng)被測物的振動導(dǎo)致與其固連的傳感器基座振動時，質(zhì)量塊將由于慣性而保持靜止，因此上、下固定電極與質(zhì)量塊之間將會產(chǎn)生相對位移。這使得電容C1、C2的值一個變大、另一個變小，從而形成一個與加速度大小成正比的差動輸出信號。

如何選擇選擇振動傳感器時要考慮以下因素：范圍和精度環(huán)境條件測量表面的形狀這三個傳感器中加速度計是常見的，因為它具有良好的頻率范圍，意味著它可以檢測各種振動頻率，加速度計價格合理且經(jīng)久耐用。必須直接安被測機器上。

渦流傳感器或電容傳感器具有中等精度，并非高分辨率應(yīng)用的選擇。它們非常耐用，非常適合在骯臟的環(huán)境中使用。就像加速度計一樣，它們也必須直接安裝到要監(jiān)視的機器上。

應(yīng)變儀既通用又，同時仍適用于危險環(huán)境。不幸的是，它們可能很難正確安裝（要正確安裝的確困難，因為安裝不對就無法讓應(yīng)變片與被測對象同步應(yīng)變），并且使用應(yīng)變片需要放大器，這會推高總價格。

電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。

電容位移傳感器特點　　1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉(zhuǎn)精度；

　　2.往復(fù)機構(gòu)的運動特性和重復(fù)定位精度；3.正弦波激振和脈激振中振動測量；

　　4.機器零部件相對振動相對變形；

　　5.盤類零件的端面振擺；

　　6.軸承間隙和油膜厚度；

　　7.檢測零部件尺寸和平直度；

　　8.線切割機床電極絲的振動；

　　9.機床主軸熱位移與動態(tài)加載試驗測量；