光刻膠京東方

事實(shí)上，我國(guó)是在缺乏經(jīng)驗(yàn)、缺乏專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才，缺失關(guān)鍵上游原材料的條件下，全靠自己摸索。近年來(lái)，盡管光刻膠研發(fā)有了一定突破，但國(guó)產(chǎn)光刻膠還是用不起來(lái)。目前，國(guó)外阻抗已達(dá)到15次方以上，而國(guó)內(nèi)企業(yè)只能做到10次方，滿(mǎn)足不了客戶(hù)工藝要求和產(chǎn)品升級(jí)的要求，有的工藝雖達(dá)標(biāo)了，但批次穩(wěn)定性不好?，F(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前，1822年法國(guó)人Nicephoreniepce在各種材料光照實(shí)驗(yàn)以后，開(kāi)始試圖復(fù)一種刻蝕在油紙上的印痕（圖案)，他將油紙放在一塊玻璃片上，玻片上涂有溶解在植物油中的瀝青。

“10次方的光刻膠經(jīng)過(guò)多次烘烤，由于達(dá)不到客戶(hù)需求的防靜電作用，不能應(yīng)用到新一代窄邊框等面板上。而國(guó)外做到15次方就有了很好的防靜電作用。這還是我們的光刻膠材料、配方、生產(chǎn)工藝方面存在問(wèn)題?！崩钪袕?qiáng)說(shuō)。

關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)不到要求，國(guó)內(nèi)企業(yè)始終受制于人。就拿在國(guó)際上具有一定競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力的京東方來(lái)說(shuō)，目前已建立17個(gè)面板顯示生產(chǎn)基地，其中，有16個(gè)已經(jīng)投產(chǎn)。但京東方用于面板的光刻膠，仍然由國(guó)外企業(yè)提供。

PR1-2000A1NR94 8000PY光刻膠報(bào)價(jià)

4,曝光

前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機(jī)上，經(jīng)與光刻版對(duì)準(zhǔn)后，進(jìn)行曝光，接受光照的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化，形成潛影，

光源與光刻膠相匹配，也就是光源波長(zhǎng)在光刻膠的敏感波段；

對(duì)準(zhǔn)：指光刻板上與襯底的對(duì)版標(biāo)記應(yīng)準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)，這樣一套光刻版各版之間的圖形才能彼此套準(zhǔn)。

曝光時(shí)間，由光源強(qiáng)度，光刻膠種類(lèi)，厚度等決定，

另外，為降低駐波效應(yīng)影響，可在曝光后需進(jìn)行烘焙，稱(chēng)為光后烘焙（PEB）

NR77-20000P

正膠PR1-2000A1技術(shù)資料

正膠PR1-2000A1是為曝光波長(zhǎng)為365 或者436納米，可用于晶圓步進(jìn)器、掃描投影對(duì)準(zhǔn)器、近程打印機(jī)和接觸式打印機(jī)等工具。PR1-2000A1可以滿(mǎn)足對(duì)附著能力較高的要求，在使用PR1-2000A1時(shí)一般不需要增粘劑，如HMDS。

相對(duì)于其他的光刻膠，PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢(shì)：

PEB，不需要后烘的步驟；

較高的分別率；

快速顯影；

較強(qiáng)的線寬控制；

蝕刻后去膠效果好；

在室溫下有效期長(zhǎng)達(dá)2年。

美國(guó)Futurre光刻膠

30．想請(qǐng)教國(guó)產(chǎn)光刻膠不能達(dá)到膜厚要求，進(jìn)口的有沒(méi)有比較好的光刻膠?。?

都可以?。oodpr是大陸比較多公司采用的，

但是Futurre 光刻膠在國(guó)外是比較有名氣的，包括很多大型企業(yè)都有用，膜厚做的也

比較厚從18um-200um都 可以做到，看你對(duì)工藝的要求了。

光刻膠品牌FUTURRE光刻膠產(chǎn)品屬性：

1  FUTURRE光刻膠產(chǎn)品簡(jiǎn)要描述及優(yōu)勢(shì):

1.1   Futurre光刻膠黏附性好，無(wú)需使用增粘劑（HMDS）

1.2  負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年

1.3  150度烘烤，縮短了烘烤時(shí)間

1.4  單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚

1.5  顯影速率快，100微米的膜厚，僅需6~8分鐘