廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN TV301分子泵；

軸封發(fā)熱填料壓得太緊或磨擦

處理方法：放松填料，檢查水封管；

水封圈與水封管錯位

處理方法：重新檢查對準(zhǔn)；

沖洗、冷卻不良

處理方法：檢查沖洗冷卻循環(huán)管；

機(jī)械密封有故障

處理方法：檢查機(jī)械密封。

正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形

　　原因：過熱，負(fù)載大

　　解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？

　　原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

　　解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

分子泵與骨架密封式旋片泵和渦輪增壓器式干泵比照，工作環(huán)境更加清除，而且可以保證十分高的真空泵值。但是，分子泵不能在大氣壓強(qiáng)下工作上，盡量和其他能夠 在大氣壓強(qiáng)下工作上的粗抽真空泵(骨架密封式旋片泵或渦輪增壓器式干泵)協(xié)作運(yùn)用。原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠解決方法：檢查系統(tǒng)分子泵軸承為什么會燒毀原因：①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過熱③沒有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵解決方法：①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵。分子泵構(gòu)造復(fù)雜、價(jià)錢較為貴，高速運(yùn)行工作上情況下有振動。VARIAN TV301分子泵

分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行真空包裝的基本原理不一樣，應(yīng)用了角動量傳輸基本概念，使分子式定項(xiàng)流通性而被排出去泵外，從而保證真空包裝的目的。VARIAN TV301分子泵

塑料薄膜堆積指在圓晶表層轉(zhuǎn)化成多種多樣塑料薄膜，這種塑料薄膜能夠 是導(dǎo)體和絕緣體、半導(dǎo)體材料或電導(dǎo)體。他們由不一樣的原材料構(gòu)成，是應(yīng)用多種多樣加工工藝生長發(fā)育或堆積的。研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用和許多更多)。通用性的堆積技術(shù)性有有機(jī)化學(xué)液相淀積（CVD）、揮發(fā)和磁控濺射PVD。VARIAN TV301分子泵

一般來說，在其中也要參雜超低溫（≤500℃）淬火工藝等熱處理方法，用于提高金屬材料層和半導(dǎo)體材料中間的低電阻器觸碰、清除熱應(yīng)力等。機(jī)器設(shè)備運(yùn)作全過程中必須高清潔的真空，一般選用以磁懸浮分子泵主導(dǎo)的隔膜真空泵真空設(shè)備。VARIAN TV301分子泵

進(jìn)出口貿(mào)易法蘭盤、冷卻循環(huán)水安裝

①、泵通道：對正、對稱性扭緊

②、泵出入口：避免 移位

③、冷卻循環(huán)水：無滲水；通道壓力0.2MPa；溫度20±５℃；水體回應(yīng)無沉淀

留意：

工作溫度：風(fēng)冷式需低于32℃;水冷散熱能致40℃

通道氣體壓強(qiáng)：強(qiáng)制性風(fēng)冷式<0.1Pa;當(dāng)然風(fēng)冷式<0.01Pa。VARIAN TV301分子泵

電纜線安裝常見問題

①、對正槽孔插進(jìn)

②、用螺帽扭緊，邊插邊擰

③、查驗(yàn)及時(shí)。VARIAN TV301分子泵