凈化車間功能溫度測試，應將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應考慮熱源等的影響，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當然，有條件的應盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應有良好的接地性能，這種措施極為有效。

無塵室的平面裝備幾種方法：1.外廊盤繞式：外廊能夠有窗或無窗，以兼作觀賞和放置一些設備用，而通常選用10萬級和外窗有必要是雙層密封窗。2.內(nèi)廊盤繞式：無塵室設在外圍，而走廊設在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度等級通常需較高，乃至和無塵室同樣的等級，此外無塵室設在外圍時，需注意并無外窗設置。3.兩頭式：無塵室設在一邊，另一邊設準無塵和輔佐用居室。4.基地式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠?qū)o塵區(qū)設在基地，上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來，削減與外氣的熱交換。