氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購(gòu)，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；

測(cè)試時(shí)，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過(guò)觀察檢漏儀上的漏率顯示來(lái)確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對(duì)此我們?cè)谠囼?yàn)前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗(yàn)情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運(yùn)行情況、機(jī)組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗(yàn)過(guò)程中先對(duì)重點(diǎn)懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對(duì)其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行排查。

對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過(guò)規(guī)定值即為有漏。對(duì)于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。