概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

軸封的設計經過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

訂購信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦阻尼，由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的顯著增加，因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。技術數據GV80GV160GV250GV400GV600構造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量（工作容積）91。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確?？梢?將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。大多數制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨特的濕法處理制程生產。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

真空泵是一種較為精密的機械設備，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現抽氣量不足或者真空度不高的現象，引起這些現象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環(huán)溫度過高(一般不應超過40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調整間隙(一般應為0.15～0.2mm);增加水量并降低進水溫度。