?光學微電子凈化工程結(jié)構材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設計方案。

潔凈車間空氣凈化設備的保養(yǎng)維護妙招

　　1.潔凈車間內(nèi)設備管理由于專業(yè)人員負責，由凈化工程公司的人員進行定期維護、保養(yǎng)工作。

　　2.靜壓差、溫濕度等數(shù)據(jù)需要由管理人員每日觀察記錄，如發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)異常應及時報告，并對空氣凈化設備進行檢修維護工作。

　　3.凈化空調(diào)系統(tǒng)在整個凈化工程中占據(jù)著重要位置，其使用應嚴格按照相關規(guī)范進行，在潔凈車間操作期應保持設備的連續(xù)運作。

　　4.送風口、新風機組等設備需要定期進行清潔，更換，并做好記錄工作。

　　潔凈車間在正常操作、人員進入等必須保持凈化設備的運行，避免二次污染的發(fā)生。凈化工程公司的嚴格科學的管理可保持設備運作。

空調(diào)凈化需關注節(jié)能

空調(diào)凈化是能耗大戶，設計與施工中需關注節(jié)能措施。在設計中，系統(tǒng)及區(qū)域的劃分，送風量計算，溫度與相對溫度的確定，潔凈級別與換氣次數(shù)的確定，新風比，風管保溫，風管制作中的咬口形式對漏風率的影響，干管支管連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風等以及空調(diào)箱、風機、冷水機組等設備選擇無一不與能耗有關，所以，這些細節(jié)必須要考慮到。

風管要求經(jīng)濟與效率并重

在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中，對風管的要求是既經(jīng)濟又能有效地送風。前者要求體現(xiàn)在價格低廉，方便施工，運行成本，內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。在運行中，有時候管件的局部阻力大大高于風管的沿程阻力，這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應大于矩形風管的邊長，圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風管應在管內(nèi)加導流片，以減少阻力。而在實際安裝施工中，較少如此處理。對于變徑管，不可突然變徑，宜作成漸擴（縮）管，漸擴管每邊擴展角應大于15°，漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風管的三通要順氣流彎管彎曲分流，支管也應有一定的曲率半徑。若要90°角分流，則應在彎頭內(nèi)加導流片。