光波超精密——石墨氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

導(dǎo)軌的導(dǎo)向精度和幾何精度是衡量直線導(dǎo)軌精度的重要指標(biāo)。

在這些參數(shù)中，導(dǎo)軌間的豎直度平行度以及導(dǎo)軌在平面上的直線度，直接決定了導(dǎo)軌的幾何精度；而導(dǎo)軌的導(dǎo)軌精度又比較復(fù)雜，其物理特性、組成結(jié)構(gòu)及工藝材料等都將影響其導(dǎo)軌精度。

直線導(dǎo)軌的直線度一般情況下，導(dǎo)軌直線度的標(biāo)準(zhǔn)用誤差數(shù)值表示，即測量單元與理想單元之間的偏差。對(duì)理想單位的選擇是非常嚴(yán)格的，需要根據(jù)規(guī)定的zui小條件進(jìn)行選擇。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——石墨氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

直線導(dǎo)軌的剛度在機(jī)床高速運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中，導(dǎo)軌因受力而產(chǎn)生變形，導(dǎo)軌會(huì)直接發(fā)生摩擦與碰撞。因此導(dǎo)軌的平面平整度，導(dǎo)軌的載重能力，導(dǎo)軌材料的選擇及結(jié)構(gòu)布置等均嚴(yán)格按照設(shè)計(jì)規(guī)范進(jìn)行。

直線導(dǎo)軌表面粗糙度導(dǎo)向器表面粗糙度一般是由導(dǎo)向器的硬度和材質(zhì)所決定的，選擇導(dǎo)向器時(shí)應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況選擇合理的、適用性較強(qiáng)的制造材料，減少影響導(dǎo)向器精度的可能性。

直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)型式。導(dǎo)向架的安裝布局和導(dǎo)向架本身的結(jié)構(gòu)外形直接影響到機(jī)床的各項(xiàng)精度指標(biāo)。對(duì)機(jī)床定位和重復(fù)定位影響zui直接。

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力，提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型，并結(jié)合流場分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，并通過識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律，對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——石墨氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測量和實(shí)驗(yàn)室測量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無需人工校正，補(bǔ)償。

計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測量中振動(dòng)對(duì)測量精度的影響，摩擦力小，低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測試要求

滾動(dòng)導(dǎo)軌阻尼小而容易引起超調(diào)或振蕩，剛度低，制造困難，對(duì)臟污和軌面誤差較敏感。滾動(dòng)導(dǎo)軌多用于光學(xué)機(jī)械、精密儀器、數(shù)控機(jī)床、紡織機(jī)械等。液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌和磁浮導(dǎo)軌的動(dòng)軌和定軌之間存在流體，摩擦更小，幾乎沒有磨損，無爬行現(xiàn)象，但是剛度低，阻尼小，設(shè)計(jì)、制造和運(yùn)行控制較復(fù)雜。滾動(dòng)導(dǎo)軌按結(jié)構(gòu)可將導(dǎo)軌分為開式導(dǎo)軌和閉式導(dǎo)軌。開式導(dǎo)軌必須借助外力，例如自身重力，才能保證動(dòng)軌與定軌的軌面正確接觸，這種導(dǎo)軌承受軌面正壓力的能力較大，承受偏載和傾覆力矩的能力較差。閉式導(dǎo)軌依靠本身的截面形狀保證軌面的正確接觸，承受偏載和傾覆力矩的能力較強(qiáng)，例如燕尾形導(dǎo)軌。影響導(dǎo)軌導(dǎo)向精度的主要因素有：直線度、兩個(gè)軌面的平行度、軌面粗糙度、耐磨性能、剛度、潤滑措施等。

現(xiàn)有的液體靜壓導(dǎo)軌一般由液壓供油裝置、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置、導(dǎo)軌、滑塊，靜壓油腔等組成。當(dāng)導(dǎo)軌工作時(shí)，首先由液壓供油裝置將壓力油輸入至靜壓油腔中，在壓力油的作用下將滑塊從導(dǎo)軌上浮起，從而在滑塊與導(dǎo)軌之間充滿一層液體薄膜，使得導(dǎo)軌與滑塊間的接觸狀態(tài)由滑動(dòng)摩擦變?yōu)榧円后w摩擦，極大的減小了滑塊運(yùn)動(dòng)時(shí)的摩擦阻力。