恒溫烤箱——烤箱的恒溫度

恒溫，是在一定的環(huán)境下保持不變的溫度，需要精密的儀器來隨時測定溫度的變化，然后調(diào)節(jié)溫度，使之始終是一個溫度

恒溫：是一個專業(yè)術語，用人工或自動控制方法保持溫度值的恒定不變。所設定的溫度值不受其它因素的影響，也使初期設定的溫度與任何一時刻的溫度相同或者相近似

能達到250-300度的烤箱，就是好的烤箱?？鞠涞妮^高溫度越高，證明烤箱質(zhì)量可靠。普通烤箱溫度一般都會在200度以下。

1、內(nèi)膽尺寸：高1000*寬2000*深3500mm

2、外框尺寸：高1380*寬1340*深3600mm（不含電機高度）

3、溫度范圍：RT 20--- 200 ℃

4、控溫精度：±1℃（溫控表解析精度）

5、內(nèi)部溫差：±2℃（空載測試）

6、加熱功率：42KW

7、內(nèi)膽材質(zhì)：SUS304#不銹鋼。

8、溫度控制：選用智能雙LED數(shù)顯溫控表，具有P.I.D自整定，配合SSR固態(tài)繼電器輸出，使得控溫控制更精準。

9、保護裝置：烤箱具有漏電（短路）保護，相序缺相（錯相）保護，電機過載（過流）保護，超溫斷電保護。

熱風循環(huán)烘箱主要特點

　熱風循環(huán)烘箱特點：

　　1、熱風在烘箱內(nèi)循環(huán)，熱效率l高，節(jié)約能源。

　　2、利用強制通風作用，烘箱內(nèi)設有風道，物料干燥均勻。

　　3、烘箱運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。自動控溫，安裝維修方便。

　　4、適用范圍廣，可干燥各種物料，是理想的通用干燥設備。

　　5、風循環(huán)烘箱的溫度：

　　6、熱風循環(huán)烘箱應用的范圍很廣泛，可干燥各種工業(yè)物料，是通用的干燥設備，一般熱風循

　　7、環(huán)烘箱溫度范圍為室溫~ 250℃，高溫型為室溫~ 500℃。

工業(yè)烘箱的正確維護保養(yǎng)，提高烘箱設備的使用壽命。

維護保養(yǎng)需知：

1）上下班用軟布把烘箱表面擦干凈，保持烤箱表面清潔，防止表層脫漆影響外觀。

2）工業(yè)烤箱內(nèi)應經(jīng)常擦拭，以免腐蝕性物質(zhì)粘附在內(nèi)膽上，影響烤箱使用壽命。

3）鼓風烘箱烘烤之溫度絕l不能超過本機之規(guī)定溫度。

4）不可將工業(yè)烤箱風道和風孔堵死，以保證正常送風風道。

5）在電熱烤箱烘烤過程中聽到聲音異常應立即停止工作，檢查馬達及風葉輪，以免燒壞馬達。

6）高溫烘烤物品后，不能立即關掉總開關，應打開風扇開關讓熱量散發(fā)出去后方可關機，以免烤箱局部受熱變形。

7）熱風循環(huán)烘箱電控制箱應定期檢修，由于電熱接觸器頻繁通斷，定期更換，以防觸頭燒壞咬死，不能切斷電熱電源，爐內(nèi)溫度升高會烤壞產(chǎn)品。

熱風循環(huán)烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風機的烘箱都可稱為熱風循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風循環(huán)烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。