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脈沖激光沉積裝置廠家專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)在線服務(wù),沈陽(yáng)鵬程

發(fā)布時(shí)間:2021-01-05 22:26  

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PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)介紹

PLD是將脈沖激光透過(guò)合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對(duì)面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準(zhǔn)穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。

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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置介紹

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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置:

生長(zhǎng)室,進(jìn)樣室可選水平、垂直兩種靶臺(tái)可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺(tái)可選,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓RHEED,工作氣壓可達(dá)100Pa可預(yù)留法蘭,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可選項(xiàng)如臭氧發(fā)生器,離子源,掩膜系統(tǒng)等。PioneerPLD系統(tǒng)的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時(shí)避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件。



常規(guī)沉積條件下的組合合成

脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):

可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過(guò)程無(wú)需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價(jià)比高;

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