凈化車(chē)間是為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

3、對(duì)于無(wú)塵區(qū)域內(nèi)放置微生物耐藥性，使用的消毒劑要定期更換。

4、物料進(jìn)入車(chē)間的時(shí)候一定要吹淋，在環(huán)境中使用真空吸塵器初步進(jìn)行吸塵凈化，進(jìn)入無(wú)塵室內(nèi)后，再用真空吸塵器擦拭方法進(jìn)一步處理。車(chē)間凈化系統(tǒng)沒(méi)有運(yùn)行，禁止出入大型物體。

5、GMP江西無(wú)塵車(chē)間日常需要進(jìn)行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。

電磁輻射法基于破壞細(xì)菌以及被吸收戶(hù)的熱效應(yīng)等原理，紫外線(xiàn)滅菌就屬于該方法，常用的有紫外線(xiàn)殺菌燈等，利用紫外線(xiàn)燈直接布在潔凈室內(nèi)，利用上班前后、午間休息、交接班等空檔時(shí)間開(kāi)燈照射殺菌，時(shí)間控制在0.5-1H左右，滅菌效果良好而實(shí)用。另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈室、無(wú)塵室的咨詢(xún)、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

建筑平面設(shè)置應(yīng)該屬建筑專(zhuān)業(yè)的專(zhuān)業(yè)范疇，但由于食品凈化車(chē)間要求人、物分流，并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度，因此，該工程中建筑平面要求具備以下幾點(diǎn)：

1、各凈化操作間集中設(shè)置獨(dú)立前室為氣閘，氣閘室與各操作間同時(shí)相通，確保低潔凈區(qū)的空氣不向高潔凈區(qū)滲透。

2、實(shí)驗(yàn)室的人的流經(jīng)過(guò)更衣室更衣?lián)Q鞋→清洗間洗手→緩沖間→風(fēng)淋室→各操作室。

3、食品空氣凈化車(chē)間物流由外走廊經(jīng)過(guò)機(jī)械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進(jìn)入緩沖走廊后再經(jīng)過(guò)傳遞窗進(jìn)入各操作室。