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發(fā)布時(shí)間:2020-12-17 09:44  
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蝕刻曝光就是通過(guò)曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關(guān)鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學(xué)顯影劑溶解,將可見(jiàn)的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見(jiàn)的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧、浸潤(rùn),然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。
銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體程上,蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。感光、顯影 感光(爆光)是將菲林放在已經(jīng)噴了感光油的產(chǎn)品上面,主要的目的是通過(guò)爆光讓菲林上的圖案在產(chǎn)品上形成,感光(爆光)過(guò)程中要特別注意夾具一定要放好,菲林不能歪斜,否則產(chǎn)品圖案就會(huì)出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象,從而產(chǎn)生不良品,而菲林也要定期檢查。