工件材質必須極為細致均勻，并經適當處理以消除內部殘余應力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設備要有極高的運動精度，導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環(huán)境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統的系統誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統和計算機控制等各種先進技術獲得的。

刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進給量，在超精密磨床上，可以進行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長遠發(fā)展的觀點來看，制造技術是當前世界各國發(fā)展國民經濟的主攻方向和戰(zhàn)略決策，是一個國家經濟發(fā)展的重要手段之一，同時又是一個國家獨立自主、繁榮昌盛、經濟上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上的長遠大計?？萍嫉陌l(fā)展對精密加工和超精密加工技術也提出了更高的要求。

精密零件加工具體有哪些特點呢？

一、精密零件切削加工

主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等。在精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，外表粗糙度為Rz0.05微米。

二、精密零件加工

精密零件加工精度以納米，甚至后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。