檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項(xiàng)真空指標(biāo)，如何快速地找到漏點(diǎn)關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達(dá)10-15pa:m3/s。當(dāng)今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點(diǎn)的漏率等特點(diǎn)，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)飛機(jī)機(jī)翼整體油箱滲漏點(diǎn)的快速定位檢測與修補(bǔ)，保證機(jī)翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。

真空檢漏的具體方法 為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進(jìn)行真空檢漏。真空爐主要由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。 (1)極限壓力合格,升壓率不合格 極限壓力合格說明設(shè)備沒有明顯漏點(diǎn)，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點(diǎn)，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。

航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。

本次試驗(yàn)被檢測部位共40余處，并對汽輪機(jī)及小汽輪機(jī)軸封部位進(jìn)行了變工祝復(fù)測。終結(jié)果發(fā)現(xiàn)特大漏點(diǎn)1處，大泄漏點(diǎn)1處，中漏點(diǎn)1處，小泄漏點(diǎn)10處，其他點(diǎn)為微漏或不漏。測試發(fā)現(xiàn)特大漏點(diǎn)部位為低壓缸擴(kuò)側(cè)防爆膜，大泄漏點(diǎn)部位為低壓缸固側(cè)防爆膜，中泄漏點(diǎn)部位為低壓缸擴(kuò)側(cè)法蘭。 為了在不影響機(jī)組正常運(yùn)行的情況下，快速有效的改善機(jī)組真空狀況，我們對主要漏點(diǎn)進(jìn)行了涂抹密封膠臨時堵漏處理，經(jīng)過多次處理并檢測，終處理后滿足使用要求。