光波超精密——單軸氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機床的動靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動阻力，提高機床定位精度和系統(tǒng)運動速度。以計算流體動力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動力減阻分析模型，并結(jié)合流場分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對減阻效果的影響規(guī)律，并通過識別各種因素對減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規(guī)律，對氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進行了優(yōu)化設(shè)計。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——單軸氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負載得以平穩(wěn)運行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測量和實驗室測量，如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無需人工校正，補償。

計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩(wěn)、振幅小、振動頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響，摩擦力小，低速運動不會產(chǎn)生爬行抖動現(xiàn)象。隨動電機快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測試要求

光波超精密技術(shù)研究院——單軸氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

同時氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——單軸氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

實踐中，氣浮墊的性能比較復(fù)雜，受多種因素的影響。對于要求較高精度的氣浮導(dǎo)軌，應(yīng)考慮以下實際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節(jié)流孔數(shù)量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進氣浮軸承的特性，可適當調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。

氣體靜壓導(dǎo)軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標測量機實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動摩擦導(dǎo)軌。風壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運行平穩(wěn)，運動精度高，磨損小，是目前三坐標測量機中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運動部件和承載部件通過氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

作為工業(yè)產(chǎn)品，直線導(dǎo)軌在機械上的應(yīng)用很重要，肯定是要用到它的，不僅僅是美觀上，在應(yīng)用體驗上也要創(chuàng)新設(shè)計，對產(chǎn)品進行不斷的研究，直線導(dǎo)軌在不同的應(yīng)用上使用一定年限后會產(chǎn)生變化，那么就需要我們對產(chǎn)品進行設(shè)計和改進。

所以既然要設(shè)計直線導(dǎo)軌，那么首先要遵循直線導(dǎo)軌副的自動貼合原理，要使導(dǎo)軌精度高，就必須使導(dǎo)軌副具有自動貼合的特點。橫梁可以靠移動部件的重量來固定，而其他的橫梁則需要額外的彈簧力或滾筒壓力來固定。

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然后是全接觸原理，固定直線導(dǎo)軌的長度，要求動導(dǎo)軌必須處于行程的兩個極限位置，與固定導(dǎo)軌進行全接觸，以保證直線導(dǎo)軌副在接觸過程中能完成全接觸，使之達到完i美狀態(tài)。

在使用環(huán)境惡劣的地方，有的型號還配備了專用的軟伸縮防塵罩和專用的防塵罩。此外，如果需要在易受切削屑和切削液噴濺影響的環(huán)境下使用，建議采用軟環(huán)形伸縮罩，以保護整個系統(tǒng)，或采用大面積伸縮防塵罩。

為了改善防塵性能，每一直線導(dǎo)軌系統(tǒng)均配以高耐磨損的特殊合成橡膠制成的密封墊片，以及層疊式接觸刮i刀、清潔環(huán)等配件。