湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。

將兩個面積不相等的電極置于射頻(例如13.56MHZ)輝光放電離子體中形成非對稱放電，面積小的那個電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負偏壓，并能產(chǎn)生濺射。?(經(jīng)濟型)雙極性矩形波或正弦波中頻靶電源的輸出電壓或電流的工藝調節(jié)范圍偏窄，若相關參數(shù)選配合適，一般可用于磁控濺射鍍膜工藝相對固定和單一的工業(yè)生產(chǎn)中，其優(yōu)點是靶電源價格可以相對便宜。?電容耦合型射頻(RF)放電電極自給偏壓的形成，可以防止絕緣層表面正電荷的積累，有助于射頻放電的維持。陰極靶表面的“自生負偏壓”的數(shù)值可以近似等于射頻濺射電壓的幅值，1高時可達千伏量級。

射頻磁控濺射氣體放電時，由于射頻靶電源輸出交變高頻正弦電壓波形，致使電子碰撞工作氣體的幾率大為增多，工作氣體離化率高，等離子阻抗低，射頻磁控濺射膜層沉積速率為二極射頻濺射的數(shù)倍。Roth等人在實驗室的一臺氣體放電等離子體實驗裝置中實現(xiàn)了Ar、He和空氣的“APGD”。輝光放電的特征是電流強度較?。s幾毫安），溫度不高，故電管內(nèi)有特殊的亮區(qū)和暗區(qū)，呈現(xiàn)瑰麗的發(fā)光現(xiàn)象。 。

次大氣壓下輝光放電的視覺特征呈現(xiàn)均勻的霧狀放電；放電時電極兩端的電壓低而功率密度大；處理紡織品和碳纖維等材料時不會出現(xiàn)擊穿和燃燒并且處理溫度接近室溫。輝光離子滲氮的特點有：離子轟擊有凈化表面作用，自動去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無需預先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。次大氣壓輝光放電技術目前可用于低溫材料、生物材料、異型材料的表面親水處理和表面接枝、表面聚合、金屬滲氮、冶金、表面催化、化學合成等工藝。由于是在次大氣壓條件下的輝光放電，處理環(huán)境的氣氛濃度高，電子和離子的能量可達10eV以上。材料批處理的效率要高于低氣壓輝光放電10倍以上。 可處理金屬、非金屬、（碳）纖維、金屬纖維、微粒、粉末等。