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發(fā)布時(shí)間:2021-01-19 18:05  
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凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定,在滿(mǎn)意加工技術(shù)的條件下,必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高,有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導(dǎo)致了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以有必要有±0.1度的恒溫,一起請(qǐng)求濕度值通常較低,因?yàn)槿顺龊菇窈?,?duì)商品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超越25度。
空氣凈化工程的作業(yè)原理是:用風(fēng)機(jī)將空氣抽入機(jī)器,經(jīng)過(guò)內(nèi)置的濾網(wǎng)過(guò)濾空氣,首要能夠起到過(guò)濾粉塵、異味、有毒氣體和殺滅有些細(xì)菌的作用。濾網(wǎng)又分:集塵濾網(wǎng)、去甲醛濾網(wǎng)、除臭濾網(wǎng)、HEPA濾網(wǎng)等。其間本錢(qián)比較高的即是HEPA濾網(wǎng),它能起到分化有毒氣體和滅菌作用,格外是按捺二次污染。這類(lèi)商品的特點(diǎn)是風(fēng)機(jī)功用以及濾網(wǎng)的質(zhì)量決定凈化作用,機(jī)器的放置以及室內(nèi)規(guī)劃影響凈化是不是徹底,室內(nèi)凈化作用不均衡,也難以徹底,濾網(wǎng)更換費(fèi)用較高。