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對于控制粒子污染的重要性，在集成電路生產(chǎn)、實驗部門已經(jīng)有所認(rèn)識，同時，實踐已向人們表明，氣體的粒子可造成微日子產(chǎn)品的短路或斷路，改變半導(dǎo)體材料的電性能，也可以破壞其晶格結(jié)構(gòu)，影響印刷板的等等。這些破壞性因素中的任何一個，無可導(dǎo)致集成電路失效的嚴(yán)重后果。通常，粒子的粒徑小到1微米的十分之幾，便可造成斷路，而更小的鑿子，便函可使線路工作降級。

灌氣，需要先對小氣瓶排氣

如果是 次灌氣，在灌氣開始之后執(zhí)行如下操作：立刻關(guān)閉工業(yè)氣瓶閥門，再關(guān)閉小氣瓶閥門，然后拆下小氣瓶一端輸氣管，打開小氣瓶閥門進(jìn)行放氣。目的是將小氣瓶內(nèi)的空氣排出（讓氣瓶內(nèi)只有單一的二氧化碳?xì)怏w，則其液化的溫度和壓力一致）。然后，再重新連接2個氣瓶進(jìn)行導(dǎo)氣，大約3分鐘完成導(dǎo)氣過程。

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由于標(biāo)準(zhǔn)氣體的配制壓力受組分飽和蒸氣壓的影響，有些有機氣體配制壓力往往很低，對于這一類氣體我們要求氣體的使用溫度要高于15℃，如果房間溫度過低，對于那些不易氣化的組分會凝聚與鋼瓶壁上，這樣標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度就會發(fā)生很大的變化，對于從低溫處取來的標(biāo)準(zhǔn)氣瓶一定要在溫度高于15℃的房間里放置一段時間，以便于凝聚于瓶壁上的組分完全氣化再使用，如果有必要可以適當(dāng)提高鋼瓶溫度，使用前一定要使鋼瓶內(nèi)外溫度達(dá)到要求。