善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。        

公司在2015年成為科技型中小企業(yè)，并設(shè)立了院士工作站，目前主要開發(fā)和經(jīng)營(yíng)以下3類產(chǎn)品和服務(wù)：旋轉(zhuǎn)機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測(cè)和健康管理、光電視覺及環(huán)保檢測(cè)、高精度幾何量檢測(cè)。相關(guān)技術(shù)打破國(guó)外壟斷，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。

科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室在納米級(jí)高精度檢焦系統(tǒng)方法研究中取得新進(jìn)展：提出了一種雙光路光強(qiáng)調(diào)制光柵檢焦方法，該方法利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的測(cè)量誤差，具有納米量級(jí)的測(cè)量精度，在光刻領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的IEEE Photonics。

提高分辨力一直是光刻技術(shù)發(fā)展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，縮短波長(zhǎng)是提高分辨力的有效手段。每次更短波長(zhǎng)光刻的應(yīng)用，都促使集成電路性能得到極大提升。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力總是以犧牲焦深為代價(jià)的。目前主流的投影光刻設(shè)備，即使采用離軸照明等波前工程技術(shù)，焦深也僅維持在百納米量級(jí)，加上由真空吸附翹曲、襯底平整度、抗蝕劑厚度等引起的基片表面起伏變化焦深范圍進(jìn)一步縮小，為了使基片表面始終保持在投影系統(tǒng)焦深范圍內(nèi)，保證曝光圖形質(zhì)量，對(duì)檢焦系統(tǒng)提出了極高的要求。目前最常用的調(diào)焦調(diào)平方法還是基于光柵的光電測(cè)量方法。該方法雖然精度較高且易于實(shí)現(xiàn)，但該測(cè)量方法易受光源或反射率波動(dòng)引起的光強(qiáng)變化的影響，從而降低檢測(cè)精度。因此，研究新型的檢焦方法和消除光強(qiáng)波動(dòng)帶來的測(cè)量影響具有重要的研究?jī)r(jià)值。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。

在線在機(jī)測(cè)量技術(shù)成為大批量生產(chǎn)時(shí)保證加工質(zhì)量的重要手段。計(jì)量型儀器進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)、融入生產(chǎn)線，監(jiān)控生產(chǎn)過程。儀器本身的可靠性、有效率、高精度以及質(zhì)量統(tǒng)計(jì)功能、故障診斷功能進(jìn)一步提高，滿足了在線測(cè)量的要求。

納米位移計(jì)NLS1X采用光譜共焦原理，測(cè)量光源為白光，通過判斷白光分解出來的各色波長(zhǎng)與調(diào)節(jié)的物鏡焦距相匹配，再通過接收端的光譜分析儀分析出接收到的光的主波長(zhǎng)，從而確定測(cè)量值。

電容式傳感器ZNX實(shí)際的基本包括了一個(gè)接收Tx與一個(gè)發(fā)射qiRx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。在接收qi與發(fā)射走線之間會(huì)形成一個(gè)電場(chǎng)。電容傳感器卻可以探測(cè)與傳感器電極特性不同的導(dǎo)體和盡緣體。當(dāng)有物體靠近時(shí)，電極的電場(chǎng)就會(huì)發(fā)生改變。從而感應(yīng)出物體的位移變化量。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。

位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，傳感器的作用是把各種被測(cè)物理量轉(zhuǎn)換為電量。在生產(chǎn)過程中，位移的測(cè)量一般分為測(cè)量實(shí)物尺寸和機(jī)械位移兩種。

電位器式位移傳感器，它通過電位器元件將機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成與之成線性或任意函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。普通直線電位器和圓形電位器都可分別用作直線位移和角位移傳感器。但是，為實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移目的而設(shè)計(jì)的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個(gè)確定關(guān)系。電位器式位移傳感器的可動(dòng)電刷與被測(cè)物體相連。