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發(fā)布時(shí)間:2021-04-22 08:40  
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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
利用稀薄氣體的輝光放電現(xiàn)象加熱工件表面和電離化學(xué)熱處理介質(zhì),使之實(shí)現(xiàn)在金屬表面滲入欲滲元素的工藝稱為輝光放電離子化學(xué)熱處理,簡(jiǎn)稱離子化學(xué)熱處理。因?yàn)樵谥饕ぷ骺臻g內(nèi)是等離子體,故又稱等離子化學(xué)熱處理。
輝光放電時(shí),在放電管兩極電場(chǎng)的作用下,電子和正離子分別向陽(yáng)極、陰極運(yùn)動(dòng),并堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū)。因正離子的漂移速度遠(yuǎn)小于電子,故正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)大得多,使得整個(gè)極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。當(dāng)電源輸出脈沖的重復(fù)頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時(shí)間過(guò)長(zhǎng)(大于100ms以上),濺射靶起輝放電后,由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子已基本被中和掉,第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓恢復(fù)至較高數(shù)值,與點(diǎn)火起輝時(shí)的高電壓接近或相同。這是輝光放電的顯著特征,而且在正常輝光放電時(shí),兩極間電壓不隨電流變化 。
1992年,Roth小組在5mm氦氣間隙實(shí)現(xiàn)了APGD,并聲稱在幾個(gè)毫米的空氣間隙中也實(shí)現(xiàn)了APGD, 主要的實(shí)驗(yàn)條件為濕度低于15% 、氣體流速50l/min、頻率為3kHz的電源并且和負(fù)載阻抗匹配。他們認(rèn)為“離子捕獲”是實(shí)現(xiàn)APGD的關(guān)鍵。易于實(shí)現(xiàn)局部氮化,只要設(shè)法使不欲氮化的部分不產(chǎn)生輝光即可1,非滲氮部位便于保護(hù),采用機(jī)械屏蔽、用鐵板隔斷輝光,即可保護(hù)。