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發(fā)布時間:2020-11-02 08:14  
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蝕刻設(shè)備的維護
維護蝕刻設(shè)備的關(guān)鍵因素就是要保證噴嘴的高清潔度及無阻塞物, 使噴嘴能暢順地 噴射。 阻塞物或結(jié)渣會使噴射時產(chǎn)生壓力作用, 沖擊板面。 而噴嘴不清潔﹐則會造成蝕刻 不均勻而使整塊電路板報廢。2:鋁牌填漆,我上了漆以后用煤油清理周邊的多余漆,整版顏色都不白了啊。明顯地﹐設(shè)備的維護就是更換破損件和磨損件﹐因噴嘴同樣存在著磨損的問題, 所以 更換時應(yīng)包括噴嘴。 此外﹐更為關(guān)鍵的問題是要保持蝕刻機沒有結(jié)渣﹐因很多時結(jié)渣堆積 過多會對蝕刻液的化學(xué)平衡產(chǎn)生影響。
化學(xué)蝕刻(Chemical etching)-- 氣態(tài)物質(zhì)(中性原子團)與表面反應(yīng), 產(chǎn)物必定易揮發(fā),也稱為等離子蝕刻。 等離子增強蝕刻(Ion-enhanced etching)—單獨使用中性原子團不能形成易揮發(fā)產(chǎn)物,具有一定 能量的離子改變襯底或產(chǎn)物;具有一定能量的離子改變襯底或產(chǎn)物層,這樣,化學(xué)反應(yīng)以后 能生成揮發(fā)性物質(zhì),亦稱為反應(yīng)離子蝕刻(RIE) 。 濺射蝕刻(Sputter etching)--具有一定能量的離子機械的濺射襯底材料。 蝕刻速率(Etch rate)--材料的剝離速率,通常以?/min,?/sec,nm/min, um/min 為單位計 量。在技術(shù)分為機械、化學(xué)和電化學(xué)方法等[1~4],其中化學(xué)蝕刻具有工藝簡單、操作方便、精度高和生產(chǎn)成本低等優(yōu)點,適合于批量生產(chǎn),蝕刻深度為20~200μm。 各向同性蝕刻( Isotropic etch)-- 蝕刻速率在所有方向都是相同的。