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發(fā)布時間:2021-01-22 23:20  

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因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是:突變流;非均勻流。



同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則,潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。



潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊,失效率競達(dá)78%,這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度



對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜