潽拓——{精}，分子泵

廣州潽拓，EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。

       受zhuanli保護的獨特泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉。

          超清潔機構 - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長了泵的 使用壽命。

        運轉時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內實現(xiàn)低噪聲。

供應二手愛德華Edwards STP-iXR2206磁懸浮分子泵及維修

     廣州潽拓光電主要提供Pfeiffer(普發(fā))， Leybold(萊寶)，Alcatel（阿爾卡特） ，Edwards（愛德華），Varia（瓦里安），Seiko Seik（精工），Shimadzu（島津），Agilen（安捷倫），Osak（大阪），，ULVAC（愛發(fā)科）等的真空渦輪分子泵,復合分子泵,磁懸浮分子泵，分子泵機組，分子泵電源。


    廣州潽拓光電科技有限公司可提供24小時快速維修保養(yǎng)技術服務，歡迎咨詢聯(lián)系。

【廣州現(xiàn)貨】Edwards愛德華渦輪分子泵nEXT240D ，二手分子泵維修保養(yǎng)


入口法蘭                  DN100ISO-K，DN100CF

出口法蘭                  DN25NW

標稱旋轉速度              60000 rpm

待機旋轉速度              可在 33000 至 60000 rpm 之間變化（默認為 42000 rpm）

推薦控制器                TIC200 分子泵和儀器控制器