無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求：

　　1、送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

　　2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。

　　在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

　　垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s

　　水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s

凈化手術(shù)室由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標。由于歐美手術(shù)室潔凈標準與中國環(huán)境存在細微差別，常規(guī)的國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準都普遍難于確保手術(shù)室凈化的長期穩(wěn)定（一般只能3-10年重建、低檔工程1年即需要翻新），所以在工程質(zhì)量方面出現(xiàn)了明顯的檔次劃分。應(yīng)遠離廁所、污水區(qū)、牲，圈等污穢（wū huì）場所。