高純氣體輸送及儲運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空，對于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對包裝容器的要求也越來越高，對于氣瓶內(nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

電子混合氣配比的精度：隨著混合氣中產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾N ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。綜合上述原因來說，高純氯化1氫更有利于制備高純鹽酸，這樣既節(jié)省了成本，也避免了氯化1氫氣體排入大氣污染環(huán)境的問題。 氣體儲運(yùn)：保證氣體在存儲、運(yùn)輸、使用過程中不會被二次污染，對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面的處理涉及多項(xiàng)工藝，均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā)；此外，對于某些具有高毒性或危險(xiǎn)性的氣體，需要使用負(fù)壓氣瓶儲運(yùn)，以減少危險(xiǎn)氣體泄露風(fēng)險(xiǎn)。

高純氣體用作零點(diǎn)氣的制作完全類似于氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制作，但操作過程可以簡化。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質(zhì)含量低于分析方法所采用測量儀器的檢出量，則此種稀釋氣就可作為“零點(diǎn)”氣使用。 零點(diǎn)氣體是用于在給定的含量范圍內(nèi)，用給定的分析方法去校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的零點(diǎn)。當(dāng)其作為被測樣品進(jìn)入檢測儀表后，在儀器選下的測量范圍內(nèi)，僅呈現(xiàn)儀表零點(diǎn)的響應(yīng)值。