無(wú)塵室的等級(jí)分類(lèi)及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)凈化實(shí)驗(yàn)室工程

其型式可分為二種：

無(wú)塵車(chē)間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

無(wú)塵車(chē)間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外并不會(huì)影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。復(fù)合式(MixedType)：復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。三級(jí)綜合醫(yī)院均應(yīng)當(dāng)建立符合生物安全二級(jí)及以上標(biāo)準(zhǔn)的臨床檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室，具備獨(dú)立開(kāi)展新型冠狀病毒檢測(cè)的能力。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 次數(shù)用完API KEY 超過(guò)次數(shù)限制

●無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。復(fù)合式(MixedType)：復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易、維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

●無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

●無(wú)塵車(chē)間并裝局部無(wú)塵室(CleanSpot)：將亂流無(wú)塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，為生產(chǎn)用。

無(wú)塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)若想檢驗(yàn)無(wú)塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率；風(fēng)速、溫濕度；壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮：遮蔽率AirChange：FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/無(wú)塵室體積HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/無(wú)塵室面積風(fēng)速、溫濕度氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃一般濕度控制范圍：（45±5）%RH壓差在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無(wú)塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。無(wú)塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)若想檢驗(yàn)無(wú)塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，大家可以先從遮蔽率。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的小壓力差是可以接受的。 次數(shù)用完API KEY 超過(guò)次數(shù)限制

凈化

凈化實(shí)驗(yàn)室的結(jié)構(gòu)：凈化實(shí)驗(yàn)室一般用平面凈化彩鋼板，這種彩鋼板一般有聚泡沫版、巖棉板、聚氨酯板、紙蜂窩板、玻鎂板等，凈化板表面有不銹鋼或彩涂板。不銹鋼板價(jià)格較高，耐腐蝕性很強(qiáng)。

潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

1、天花板系統(tǒng)：包括吊筋、吊頂、鋼梁、燈

2、空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)：包括空調(diào)、空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)、通風(fēng)管道等。

3、隔墻板(Partitional wall)：包括彩鋼板、凈化鋁型材、窗戶、門(mén)。

4、地板：包括自流坪、PVC平鋪地板、聚氨酯耐酸堿地板、防靜電地板、高架地板等

5、照明部分：電纜、開(kāi)關(guān)、凈化燈、應(yīng)急燈、紫外線燈燈、黃光燈、三防燈、格柵燈等。

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器注意事項(xiàng)1、當(dāng)入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動(dòng)計(jì)數(shù)儀

2、激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)該在潔凈環(huán)境下使用，以防止對(duì)激光傳感器的損傷

3、不要測(cè)有可能產(chǎn)生反應(yīng)的混合氣體（如氫氣和氧氣）。這此氣體也可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生。測(cè)這些氣體需與廠家聯(lián)系為取得更多的信息。

4、沒(méi)有高壓減壓設(shè)備（如高壓擴(kuò)散器）不要取樣壓縮空氣，所有的顆粒計(jì)數(shù)儀被設(shè)計(jì)用于在一個(gè)大氣壓下操作。

5、水，溶液或其它液體都不能從入口管進(jìn)入傳感器。

6、顆粒計(jì)數(shù)儀主要用來(lái)測(cè)試凈化車(chē)間干凈的環(huán)境，當(dāng)測(cè)的地方有松散顆粒的材質(zhì)，灰塵源，噴霧處時(shí)，須少保持距進(jìn)口管至少十二英寸遠(yuǎn)。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及管路。

7、取樣時(shí)，避免取樣從計(jì)數(shù)器本身排出來(lái)的或被計(jì)數(shù)器出來(lái)的氣體所污染的氣體。

8、在連接外置打印機(jī)或連接外接溫濕度傳感器時(shí)，需先關(guān)掉計(jì)數(shù)器；當(dāng)執(zhí)行打印操作時(shí)，打印機(jī)上須有打印紙，否則會(huì)損傷打印頭。