無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無(wú)塵車間-潔凈廠房的竣工驗(yàn)收，是在各分部單機(jī)試車，無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車自檢合格后進(jìn)行?？⒐を?yàn)收的內(nèi)容是對(duì)各分部工程的單機(jī)試車和無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測(cè)和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，按要求進(jìn)行功能檢測(cè)和調(diào)試。

潔凈廠房竣工驗(yàn)收時(shí)，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會(huì)審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書和竣工圖;

2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)報(bào)告;

3 各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄;

4 各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄;

5 各分部工程、系統(tǒng)無(wú)負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

6 各類管線試驗(yàn)、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄;

8 各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計(jì)開(kāi)始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個(gè)核心。潔凈廠房保潔也離不開(kāi)這個(gè)核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對(duì)塵?？刂朴辛撕芨叩谋Ｕ希?，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會(huì)不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級(jí)、100000級(jí)潔凈廠房(因建造成本限制)。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。