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發(fā)布時(shí)間:2021-10-16 03:14  

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        復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ~ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國(guó) Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵,可以做到完全無(wú)油,且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。



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