凈化車(chē)間為何要控制溫濕度

凈化車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?！穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

潔凈車(chē)間無(wú)菌室應(yīng)定期用適宜的消毒液滅菌清潔，

以保證無(wú)菌室的潔凈度符合要求。 需要帶入潔凈車(chē)間無(wú)菌室使用的儀器、器械等物品， 無(wú)塵凈化溫濕控制。這項(xiàng)控制是讓工作人員有個(gè)好的工作環(huán)境，取決于空調(diào)、加濕機(jī)、恒溫恒濕設(shè)備、空調(diào)、除濕機(jī)等設(shè)備。

在安裝過(guò)程中，除常規(guī)安裝工藝外，必須著重要考慮施工對(duì)象和施工環(huán)境的潔凈、衛(wèi)生、無(wú)毒、美觀，施工工藝必須符合GMP認(rèn)證的要求。

凈化車(chē)間改造需要注意的一些事項(xiàng)

一、制定具體的施工流程：因?yàn)閮艋?chē)間是很怕污染的，所以我們?cè)趯?duì)凈化車(chē)間改造的時(shí)候，為了避免產(chǎn)生污染的問(wèn)題，我們要制定出具體的施工流程，不能隨意堆放施工的材料，同時(shí)在在進(jìn)行改造的時(shí)候，要嚴(yán)格按照施工的方案，不能造成各個(gè)區(qū)域的交叉污染。

二、凈化車(chē)間的密封工作：我們知道凈化車(chē)間的密封性是要求很高的，當(dāng)然，這不是說(shuō)凈化車(chē)間是沒(méi)有空氣之間的流通的，而是需要我們?cè)趯?duì)凈化車(chē)間改造的時(shí)候，按照設(shè)計(jì)要求安裝專門(mén)的空氣流通系統(tǒng)，而不是隨意的可以通風(fēng)。不要總覺(jué)得漏一點(diǎn)空氣是可以的，而是一定要保證凈化車(chē)間的密封性。

三、凈化車(chē)間的設(shè)備：在未進(jìn)行設(shè)備安裝前，一定要保證設(shè)備的存放安全，在安裝以后我們一定要把與設(shè)備有關(guān)的說(shuō)明書(shū)和注意事項(xiàng)告訴用戶，在凈化車(chē)間改造完成后，1好可以先試運(yùn)行一次。