無塵車間與周圍的空間必須維持電子廠無塵凈化車間廠房定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

1、不同等級的無塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

2、無塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定

3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)，關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負(fù)壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反

4、非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

　對于亂流潔凈室 由于電子廠無塵凈化車間廠房主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以電子廠無塵凈化車間廠房主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；

　　(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。

　　(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

無塵車間規(guī)章制度8

設(shè)備使用規(guī)則

1.所有設(shè)備均應(yīng)依操作手冊規(guī)定之步驟開機(jī)、關(guān)機(jī)、調(diào)試。

2.開機(jī)操作人員遇到故障或不確定因素時影響開機(jī)或調(diào)試，應(yīng)向當(dāng)班匯報，聽候指示，再作處理。

3.潔凈室涂裝設(shè)備的設(shè)定狀況非經(jīng)當(dāng)班批準(zhǔn)不得任意改變原有之設(shè)定。

4.設(shè)備的使用狀況及使用時潔凈室、噴房內(nèi)的溫濕度請詳加紀(jì)錄。

5.凡設(shè)備操作不當(dāng)以至造成污染或損壞應(yīng)盡速報告并接受懲處，若有故意隱瞞一經(jīng)查獲將加重處分。

6.設(shè)備使用完畢應(yīng)依規(guī)定加以清潔。?